TIRI-先進材料製程暨設備組
| 姓名 | 職稱 | 聯絡資訊 | 專長 |
|---|---|---|---|
| 柯志忠 | 研究員 兼任 組長 |
03-5779911#585 g893552 narlabs.org.tw |
溶液法製備氧化物奈米結構陣列、金屬奈米顆粒陣列製備與分析、原子層沉積系統設計與製程 |
| 卓文浩 | 副研究員 兼任 副組長 |
03-5779911#641 kesikar narlabs.org.tw |
光學薄膜、原子層沉積技術 |
| 劉柏亨 | 副研究員 |
03-5779911#640 jazerox narlabs.org.tw |
磁控式濺鍍技術、電漿輔助原子層鍍膜技術 |
| 陳建維 | 副研究員 |
03-5779911#614 1509777 narlabs.org.tw |
奈米生醫感測器製程、半導體製程整合、原子層沉積製程 |
| 余友軒 | 助理工程師 |
03-5779911#659 ysyu narlabs.org.tw |
原子層沉積技術、半導體系統設備開發、化學合成製程研發、實驗室設備操作 |
| 陳建霖 | 助理工程師 |
03-5779911#421 1609788 narlabs.org.tw |
機構設計 |
| 張展源 | 助理研究員 |
03-5779911#651 1809912 narlabs.org.tw |
原子層沉積系統設計與製程、表面與介面科學 |
| 周宗德 | 助理研究員 |
03-5779911#478 2209226 narlabs.org.tw |
原子層沉積設備及製程開發、材料分析、製程參數調整 |
| 卜悅茹 | 助理工程師 |
03-5779911#228 2309251 narlabs.org.tw |
設備軟體開發 |
| 張揚愉 | 佐理研究員 |
03-5779911#674 2209235 narlabs.org.tw |
機構設計、工業配線、物聯網、機電整合 |
