鄭振華主任
1968–1971
清大原子科學研究所鄭振華所長兼任主任(第一任)
張去疑主任
1971–1975
張去疑教授接任第二任
汪一彪主任
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國科會精儀中心
1975–1976
蘇青森主任
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國科會精儀中心
1976–1987
王大庚主任
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國科會精儀中心
1987–1993
黃文雄主任
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國科會精儀中心
1993–2000
陳建人主任
![](https://www.tiri.narl.org.tw/Files/Img/Intro/Former/Former-5.jpg)
國研院儀科中心
2000–2008
蔡定平主任
![](https://www.tiri.narl.org.tw/Files/Img/Intro/Former/Former-6.jpg)
國研院儀科中心
2008–2012
葉哲良主任
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國研院儀科中心
2012–2017
楊燿州主任
![](https://www.tiri.narl.org.tw/Files/Img/Intro/Former/Former-8.jpg)