2024 半導體先進檢測與計量論壇為 SEMICON Taiwan 臺灣國際半導體展活動之一，主要探討半導體檢測與計量之市場趨勢、產業標準、設備發展，以及各種技術應用。國研院儀科中心協辦本活動，並由柯志忠組長 (Dr. Chi-Chung Kei) 介紹國研院儀科中心自行開發應用於次世代半導體設備之臨場檢測技術，在不破真空的情況下達到連續製程與即時分析，減少樣品表面遭受大氣汙染機率，可作為半導體新穎材料製程研發時的利器，提升製程良率與可靠度，有興趣者歡迎報名參與！

半導體先進檢測與計量國際論壇►► 活動報名網頁

• 時        間：9 月 6 日 (星期五) 下午 1:30~2:10

• 地        點：南港展覽館 1 館 4 樓 - 402

• 發表主題：Novel in-situ Inspection Technology Developed in TIRI for Next-generation Semiconductor Device

• 發  表  人：柯志忠組長 (Dr. Chi-Chung Kei)